工業机器人(rén)

工業机器人(rén)是(shì)面(miàn)向工業領域的(de)多(duō)關(guān)节(jié)机械手(shǒu)或(huò)多(duō)自(zì)由(yóu)度的(de)机器人(rén)。工業机器人(rén)是(shì)自(zì)動(dòng)執行工作(zuò)的(de)机器裝(zhuāng)置，是(shì)靠自(zì)身(shēn)動(dòng)力和(hé)控制能(néng)力来(lái)實(shí)現(xiàn)各(gè)种功能(néng)的(de)一(yī)种机器。它(tā)可(kě)以(yǐ)接受人(rén)類(lèi)指挥，也(yě)可(kě)以(yǐ)按照預先(xiān)編排的(de)程序運行，現(xiàn)代(dài)的(de)工業机器人(rén)還(huán)可(kě)以(yǐ)根(gēn)据人(rén)工智能(néng)技術(shù)制定(dìng)的(de)原則纲領行動(dòng)。

种類(lèi)介紹：

折疊移動(dòng)机器人(rén)

移動(dòng)机器人(rén)（AGV）是(shì)工業机器人(rén)的(de)一(yī)种類(lèi)型，它(tā)由(yóu)計(jì)算机控制，具有(yǒu)移動(dòng)、自(zì)動(dòng)導航、多(duō)傳感(gǎn)器控制、网(wǎng)絡交互等功能(néng)，它(tā)可(kě)廣泛應(yìng)用(yòng)于(yú)机械、电子、紡織、卷煙、醫療、食品、造紙(zhǐ)等行業的(de)柔性(xìng)搬運、傳輸等功能(néng)，也(yě)用(yòng)于(yú)自(zì)動(dòng)化(huà)立體(tǐ)倉庫、柔性(xìng)加工系(xì)統、柔性(xìng)裝(zhuāng)配系(xì)統（以(yǐ)AGV作(zuò)为(wèi)活動(dòng)裝(zhuāng)配平台(tái)）；同(tóng)时(shí)可(kě)在車站、机场(chǎng)、邮(yóu)局(jú)的(de)物(wù)品分(fēn)撿中(zhōng)作(zuò)为(wèi)運輸工具。

移動(dòng)机器人(rén)是(shì)其(qí)中(zhōng)的(de)核心(xīn)技術(shù)和(hé)設備，是(shì)用(yòng)現(xiàn)代(dài)物(wù)流技術(shù)配合、支撑、改造、提(tí)升(shēng)傳統生(shēng)産線(xiàn)，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)对(duì)點(diǎn)自(zì)動(dòng)存取(qǔ)的(de)高(gāo)架箱儲、作(zuò)業和(hé)搬運相結合，實(shí)現(xiàn)精细(xì)化(huà)、柔性(xìng)化(huà)、信(xìn)息化(huà)，縮短(duǎn)物(wù)流流程，降低(dī)物(wù)料損耗，減少(shǎo)占地(dì)面(miàn)積，降低(dī)建設投資等的(de)技術(shù)和(hé)裝(zhuāng)備。

折疊點(diǎn)焊机器人(rén)

焊接机器人(rén)具有(yǒu)性(xìng)能(néng)穩定(dìng)、工作(zuò)空(kōng)間(jiān)大(dà)、運動(dòng)速度快(kuài)和(hé)負荷能(néng)力強(qiáng)等

折疊焊接机器人(rén)

特(tè)點(diǎn)，焊接質(zhì)量(liàng)明顯優于(yú)人(rén)工焊接，大(dà)大(dà)提(tí)高(gāo)了(le)點(diǎn)焊作(zuò)業的(de)生(shēng)産率。

點(diǎn)焊机器人(rén)主(zhǔ)要(yào)用(yòng)于(yú)汽車整車的(de)焊接工作(zuò)，生(shēng)産过(guò)程由(yóu)各(gè)大(dà)汽車主(zhǔ)机廠(chǎng)負责完成(chéng)。工業机器人(rén)企業凭借(jiè)與(yǔ)各(gè)大(dà)汽車企業的(de)长(cháng)期(qī)合作(zuò)關(guān)系(xì)，向各(gè)大(dà)型汽車生(shēng)産企業提(tí)供各(gè)類(lèi)點(diǎn)焊机器人(rén)单元(yuán)産品並(bìng)以(yǐ)焊接机器人(rén)與(yǔ)整車生(shēng)産線(xiàn)配套(tào)形式進(jìn)入(rù)中(zhōng)國(guó)，在該領域占据市(shì)场(chǎng)主(zhǔ)導地(dì)位(wèi)。

随着汽車工業的(de)發(fà)展(zhǎn)，焊接生(shēng)産線(xiàn)要(yào)求焊鉗一(yī)體(tǐ)化(huà)，重(zhòng)量(liàng)越来(lái)越大(dà)，165公(gōng)斤(jīn)點(diǎn)焊机器人(rén)是(shì)當前(qián)汽車焊接中(zhōng)最(zuì)常用(yòng)的(de)一(yī)种机器人(rén)。2008年(nián)9月(yuè)，机器人(rén)研究所(suǒ)研制完成(chéng)165公(gōng)斤(jīn)級點(diǎn)焊机器人(rén)，並(bìng)成(chéng)功應(yìng)用(yòng)于(yú)奇瑞汽車焊接車間(jiān)。2009年(nián)9月(yuè)，經(jīng)过(guò)優化(huà)和(hé)性(xìng)能(néng)提(tí)升(shēng)的(de)第(dì)二台(tái)机器人(rén)完成(chéng)並(bìng)順利通(tòng)过(guò)验收(shōu)，該机器人(rén)整體(tǐ)技術(shù)指标(biāo)已經(jīng)达(dá)到(dào)國(guó)外(wài)同(tóng)類(lèi)机器人(rén)水(shuǐ)平。

折疊弧焊机器人(rén)

弧焊机器人(rén)主(zhǔ)要(yào)應(yìng)用(yòng)于(yú)各(gè)類(lèi)汽車零(líng)部(bù)件(jiàn)的(de)焊接生(shēng)産。在該領域，大(dà)型工業机器人(rén)生(shēng)産企業主(zhǔ)要(yào)以(yǐ)向成(chéng)套(tào)裝(zhuāng)備供應(yìng)商提(tí)供单元(yuán)産品为(wèi)主(zhǔ)。

關(guān)鍵技術(shù)包(bāo)括：

(1)弧焊机器人(rén)系(xì)統優化(huà)集成(chéng)技術(shù)：弧焊机器人(rén)采用(yòng)交流伺服(fú)驅動(dòng)技術(shù)以(yǐ)及(jí)高(gāo)精度、高(gāo)剛性(xìng)的(de)RV減速机和(hé)諧波(bō)減速器，具有(yǒu)良好(hǎo)的(de)低(dī)速穩定(dìng)性(xìng)和(hé)高(gāo)速動(dòng)态響應(yìng)，並(bìng)可(kě)實(shí)現(xiàn)免維護功能(néng)。

(2)协調控制技術(shù)：控制多(duō)机器人(rén)及(jí)变位(wèi)机协調運動(dòng)，既能(néng)保持(chí)焊槍和(hé)工件(jiàn)的(de)相对(duì)姿态以(yǐ)滿足焊接工藝的(de)要(yào)求，又能(néng)避免焊槍和(hé)工件(jiàn)的(de)碰撞。

(3)焊縫軌迹跟蹤技術(shù)：結合激光(guāng)傳感(gǎn)器和(hé)視覺傳感(gǎn)器离線(xiàn)工作(zuò)方(fāng)式的(de)優點(diǎn)，采用(yòng)激光(guāng)傳感(gǎn)器實(shí)現(xiàn)焊接过(guò)程中(zhōng)的(de)焊縫跟蹤，提(tí)升(shēng)焊接机器人(rén)对(duì)複雜工件(jiàn)進(jìn)行焊接的(de)柔性(xìng)和(hé)适應(yìng)性(xìng)，結合視覺傳感(gǎn)器离線(xiàn)觀察获得焊縫跟蹤的(de)殘餘偏差，基于(yú)偏差統計(jì)获得補偿数据並(bìng)進(jìn)行机器人(rén)運動(dòng)軌迹的(de)修正(zhèng)。

折疊激光(guāng)加工机器人(rén)

激光(guāng)加工机器人(rén)是(shì)将机器人(rén)技術(shù)應(yìng)用(yòng)于(yú)激光(guāng)加工中(zhōng)，通(tòng)过(guò)高(gāo)精度工業机器人(rén)實(shí)現(xiàn)更(gèng)加柔性(xìng)的(de)激光(guāng)加工作(zuò)業。本(běn)系(xì)統通(tòng)过(guò)示教盒進(jìn)行在線(xiàn)操作(zuò)，也(yě)可(kě)通(tòng)过(guò)离線(xiàn)方(fāng)式進(jìn)行編程。該系(xì)統通(tòng)过(guò)对(duì)加工工件(jiàn)的(de)自(zì)動(dòng)檢測，産生(shēng)加工件(jiàn)的(de)模型，繼而(ér)生(shēng)成(chéng)加工曲(qū)線(xiàn)，也(yě)可(kě)以(yǐ)利用(yòng)CAD数据直(zhí)接加工。可(kě)用(yòng)于(yú)工件(jiàn)的(de)激光(guāng)表(biǎo)面(miàn)處(chù)理(lǐ)、打(dǎ)孔、焊接和(hé)模具修複等。

關(guān)鍵技術(shù)包(bāo)括：

(1)激光(guāng)加工机器人(rén)結構優化(huà)設計(jì)技術(shù)：采用(yòng)大(dà)範圍框架式本(běn)體(tǐ)結構，在增大(dà)作(zuò)業範圍的(de)同(tóng)时(shí)，保證机器人(rén)精度；

(2)机器人(rén)系(xì)統的(de)誤差補偿技術(shù)：針(zhēn)对(duì)一(yī)體(tǐ)化(huà)加工机器人(rén)工作(zuò)空(kōng)間(jiān)大(dà)，精度高(gāo)等要(yào)求，並(bìng)結合其(qí)結構特(tè)點(diǎn)，采取(qǔ)非(fēi)模型方(fāng)法與(yǔ)基于(yú)模型方(fāng)法相結合的(de)混合机器人(rén)補偿方(fāng)法，完成(chéng)了(le)幾(jǐ)何参数誤差和(hé)非(fēi)幾(jǐ)何参数誤差的(de)補偿。

(3)高(gāo)精度机器人(rén)檢測技術(shù)：将三(sān)坐标(biāo)測量(liàng)技術(shù)和(hé)机器人(rén)技術(shù)相結合，實(shí)現(xiàn)了(le)机器人(rén)高(gāo)精度在線(xiàn)測量(liàng)。

(4)激光(guāng)加工机器人(rén)專用(yòng)语言實(shí)現(xiàn)技術(shù)：根(gēn)据激光(guāng)加工及(jí)机器人(rén)作(zuò)業特(tè)點(diǎn)，完成(chéng)激光(guāng)加工机器人(rén)專用(yòng)语言。

(5)网(wǎng)絡通(tòng)訊和(hé)离線(xiàn)編程技術(shù)：具有(yǒu)串口(kǒu)、CAN等网(wǎng)絡通(tòng)訊功能(néng)，實(shí)現(xiàn)对(duì)机器人(rén)生(shēng)産線(xiàn)的(de)監控和(hé)管(guǎn)理(lǐ)；並(bìng)實(shí)現(xiàn)上(shàng)位(wèi)机对(duì)机器人(rén)的(de)离線(xiàn)編程控制。

折疊真(zhēn)空(kōng)机器人(rén)

真(zhēn)空(kōng)机器人(rén)是(shì)一(yī)种在真(zhēn)空(kōng)环(huán)境下(xià)工作(zuò)的(de)机器人(rén)，主(zhǔ)要(yào)應(yìng)用(yòng)于(yú)半導體(tǐ)工業中(zhōng)，實(shí)現(xiàn)晶圆(yuán)在真(zhēn)空(kōng)腔室内的(de)傳輸。真(zhēn)空(kōng)机械手(shǒu)難進(jìn)口(kǒu)、受限制、用(yòng)量(liàng)大(dà)、通(tòng)用(yòng)性(xìng)強(qiáng)，其(qí)成(chéng)为(wèi)制约了(le)半導體(tǐ)裝(zhuāng)備整机的(de)研發(fà)進(jìn)度和(hé)整机産品競争力的(de)關(guān)鍵部(bù)件(jiàn)。而(ér)且(qiě)國(guó)外(wài)对(duì)中(zhōng)國(guó)買(mǎi)家(jiā)嚴加審查，歸屬于(yú)禁運産品目录(lù)，真(zhēn)空(kōng)机械手(shǒu)已成(chéng)为(wèi)嚴重(zhòng)制约我(wǒ)國(guó)半導體(tǐ)設備整机裝(zhuāng)備制造的(de)“卡(kǎ)脖子”問(wèn)題(tí)。

關(guān)鍵技術(shù)包(bāo)括：

(1)真(zhēn)空(kōng)机器人(rén)新構型設計(jì)技術(shù)：通(tòng)过(guò)結構分(fēn)析和(hé)優化(huà)設計(jì)，設計(jì)新構型滿足真(zhēn)空(kōng)机器人(rén)对(duì)剛度和(hé)伸縮比的(de)要(yào)求；

(2)大(dà)間(jiān)隙真(zhēn)空(kōng)直(zhí)驅电机技術(shù)：涉及(jí)大(dà)間(jiān)隙真(zhēn)空(kōng)直(zhí)接驅動(dòng)电机和(hé)高(gāo)潔淨直(zhí)驅电机開(kāi)展(zhǎn)电机理(lǐ)論分(fēn)析、結構設計(jì)、制作(zuò)工藝、电机材料表(biǎo)面(miàn)處(chù)理(lǐ)、低(dī)速大(dà)轉(zhuǎn)矩控制、小型多(duō)軸驅動(dòng)器等方(fāng)面(miàn)。

(3)真(zhēn)空(kōng)环(huán)境下(xià)的(de)多(duō)軸精密軸系(xì)的(de)設計(jì)。采用(yòng)軸在軸中(zhōng)的(de)設計(jì)方(fāng)法，減小軸之(zhī)間(jiān)的(de)不同(tóng)心(xīn)以(yǐ)及(jí)慣量(liàng)不对(duì)稱的(de)問(wèn)題(tí)。

(4)動(dòng)态軌迹修正(zhèng)技術(shù)：通(tòng)过(guò)傳感(gǎn)器信(xìn)息和(hé)机器人(rén)運動(dòng)信(xìn)息的(de)融合，檢測出(chū)晶圆(yuán)與(yǔ)手(shǒu)指之(zhī)間(jiān)基準位(wèi)置之(zhī)間(jiān)的(de)偏移，通(tòng)过(guò)動(dòng)态修正(zhèng)運動(dòng)軌迹，保證机器人(rén)準确地(dì)将晶圆(yuán)從真(zhēn)空(kōng)腔室中(zhōng)的(de)一(yī)个(gè)工位(wèi)傳送到(dào)另(lìng)一(yī)个(gè)工位(wèi)。

(5)符合SEMI标(biāo)準的(de)真(zhēn)空(kōng)机器人(rén)语言：根(gēn)据真(zhēn)空(kōng)机器人(rén)搬運要(yào)求、机器人(rén)作(zuò)業特(tè)點(diǎn)及(jí)SEMI标(biāo)準，完成(chéng)真(zhēn)空(kōng)机器人(rén)專用(yòng)语言。

(6)可(kě)靠性(xìng)系(xì)統工程技術(shù)：在IC制造中(zhōng)，設備故障会带(dài)来(lái)巨大(dà)的(de)損失。根(gēn)据半導體(tǐ)設備对(duì)MCBF的(de)高(gāo)要(yào)求，对(duì)各(gè)个(gè)部(bù)件(jiàn)的(de)可(kě)靠性(xìng)進(jìn)行測試、評價和(hé)控制，提(tí)高(gāo)机械手(shǒu)各(gè)个(gè)部(bù)件(jiàn)的(de)可(kě)靠性(xìng)，從而(ér)保證机械手(shǒu)滿足IC制造的(de)高(gāo)要(yào)求。

折疊潔淨机器人(rén)

潔淨机器人(rén)是(shì)一(yī)种在潔淨环(huán)境中(zhōng)使用(yòng)的(de)工業机器人(rén)。随着生(shēng)産技術(shù)水(shuǐ)平不斷提(tí)高(gāo)，其(qí)对(duì)生(shēng)産环(huán)境的(de)要(yào)求也(yě)日(rì)益苛刻(kè)，很多(duō)現(xiàn)代(dài)工業産品生(shēng)産都要(yào)求在潔淨环(huán)境進(jìn)行，潔淨机器人(rén)是(shì)潔淨环(huán)境下(xià)生(shēng)産需要(yào)的(de)關(guān)鍵設備。

關(guān)鍵技術(shù)包(bāo)括：

(1)潔淨潤滑技術(shù)：通(tòng)过(guò)采用(yòng)負壓抑尘結構和(hé)非(fēi)挥發(fà)性(xìng)潤滑脂，實(shí)現(xiàn)对(duì)环(huán)境无颗(kē)粒(lì)污染，滿足潔淨要(yào)求。

(2)高(gāo)速平穩控制技術(shù)：通(tòng)过(guò)軌迹優化(huà)和(hé)提(tí)高(gāo)關(guān)节(jié)伺服(fú)性(xìng)能(néng)，實(shí)現(xiàn)潔淨搬運的(de)平穩性(xìng)。

(3)控制器的(de)小型化(huà)技術(shù)：根(gēn)据潔淨室建造和(hé)運營成(chéng)本(běn)高(gāo)，通(tòng)过(guò)控制器小型化(huà)技術(shù)減小潔淨机器人(rén)的(de)占用(yòng)空(kōng)間(jiān)。

(4)晶圆(yuán)檢測技術(shù)：通(tòng)过(guò)光(guāng)學(xué)傳感(gǎn)器，能(néng)够通(tòng)过(guò)机器人(rén)的(de)掃描，获得卡(kǎ)匣中(zhōng)晶圆(yuán)有(yǒu)无缺片(piàn)、倾斜等信(xìn)息。